Sebagai alternatif kepada Taraf Perintis, sebuah syarikat boleh memohon Elaun Cukai Pelaburan (ITA –Investment Tax Allowance).  Syarikat yang diberikan ITA mendapat elaun 60% ke atas perbelanjaan modal yang layak (seperti kilang, loji, jentera dan kelengkapan-kelengkapan lain yang digunakan untuk projek diluluskan) ditanggungi dalam lima tahun dari tarikh perbelanjaan modal yang layak pertama dilakukan.

Syarikat boleh mengofsetkan elaun ini dengan 70% daripada pendapatan berkanun bagi setiap tahun taksiran.  Mana-mana elaun yang tidak digunakan boleh dibawa ke hadapan ke tahun-tahun berikutnya sehingga  digunakan sepenuhnya.  Baki 30% daripada pendapatan berkanunnya akan dicukai pada kadar cukai syarikat yang lazim.

Untuk menggalakkan pelaburan di kawasan-kawasan digalakkan iaitu di negeri Sabah dan Sarawak dan kawasan dikenali “Koridor Timur” Semenanjung Malaysia, permohonan-permohonan yang diterima mulai 13 September 2003 daripada syarkat-syarikat bertempat di kawasan-kawasan ini akan menikmati elaun 100% ke atas perbelanjaan modal yang layak ditanggungi dalam tempoh lima tahun.  Elaun ini boleh digunakan untuk diofsetkan dengan 100% pendapatan berkanunnya untuk setiap tahun taksiran.  Syarikat-syarikat yang diberikan kelulusan untuk insentif ini setahun sebelum 13 September 2003 tetapi belum memulakan pengeluaran komersil, ataupun permohonan masih dalam pertimbangan, juga layak untuk mendapatkan insentif ini.  Semua permohonan projek yang diterima sebelum 31 Disember 2005 akan layak untuk insentif dipertingkatkan ini.

Permohonan-permohonan hendaklah dikemukakan kepada MIDA.